■メカ関係 |
・光学測定顕微鏡(ニコン製) 1台 ・電気マイクロ(ミツトヨ製) 2台
・真直マスター(ミツトヨ製) 2セット(セラミック及び石) ・直角マスター(ミツトヨ製) 2セット
・超精密四角マスター(ミツトヨ製) 1セット ・光学式オートコリーメーター 2セット(ニコン、パール光学製)
・除振台(700 x 500 ヘルツ製) ・クリーンブース(クラス1000) 1式 ・暗室ユニット(1500 x 2000) 1式
・その他 組立て調整用機器及び工具一式
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■真空関係 |
・ロータリーポンプ 2セット ・真空計(ピラニー他) 2セット
・リークディテクター(アネルバ製) 1台 その他 バルブ、継ぎ手等一式 |
■電気関係 |
・電気配線/チェック関連機器一式
・モーター、温調等制御機器一式 |
■その他の設備 |
・光学系実験機器(テスト、確認用) CCDカメラ、鏡筒、対物レンズ、〜MAX100倍他一式
・ホイスト(1t用) 1台 ・油圧式パワーリフト 300kg用1台 1.5t用1台
・修正用加工機(フライス 1台、旋盤 1台、その他一般加工機)
・常設ガス N2、He、H2 ・超音波洗浄機(環境保護対応洗浄液使用) 1台
・耐圧テスト機(MAX40Mpas) 1台 |